Mikroelektromehanska naprava in način njene izdelave ter elementi tehnične izvedbe

Elementi tehnične izvedbe:

4. Glede na zgornje težave je predlagan pričujoči izum. Predloženi izum zagotavlja novo strukturo mems naprave, ki se lahko izogne ​​uporabi konzolnih nosilcev, ima večjo vzdržljivost in ima preprostejšo strukturo. Predloženi izum zagotavlja tudi novo proizvodno metodo mems naprave, ki ima preproste procesne korake in lahko izboljša proizvodni izkoristek.

5. V skladu z zgledno izvedbo lahko mikroelektromehanska naprava obsega: izolacijski substrat; podporni stebriček, nameščen na substrat, pri čemer podporni steber podpira dokazno maso; obdaja substrat na substratu En ali več parov elektrodnih plošč, razporejenih na masnem bloku, vsak par elektrodnih plošč je razporejen na nasprotnih straneh masnega bloka; in izolacijska pokrivna plošča, na kateri je razporejen par elektrodnih plošč, ki ustreza enemu ali več parom elektrodnih plošč, ali več parov elektrod, kadar pokrivna plošča pokriva enega ali več parov elektrodnih plošč, enega ali več parov elektrod so v električnem stiku z enim ali več pari elektrodnih plošč.

6. V nekaterih izvedbah so podporni drog, dokazna masa in en ali več parov elektrodnih plošč oblikovani iz prevodnika ali polprevodniškega materiala, prevodni vodi, povezani z nosilnim drogom, pa so povezani z ene strani substrata. Izvod, prevodni vodi, povezani z enim ali več pari elektrod, so izpeljani z ene strani pokrovne plošče.

7. V nekaterih izvedbah je pokrivna plošča oblikovana z odprtino med enim ali več pari elektrod, da se izpostavi podporni drog in dokazna masa.

8. V nekaterih izvedbah je višina dokazne mase nižja od višine enega ali več parov elektrodnih plošč.

9. V nekaterih izvedbah se mikroelektromehanska naprava uporablja kot merilnik pospeška, en ali več parov elektrodnih plošč pa se uporablja za merjenje sprememb v kapacitivnosti zaradi sprememb v položaju dokazne mase.

10. V nekaterih izvedbah se mikroelektromehanska naprava uporablja kot žiroskop in en ali več parov elektrodnih plošč vključuje vsaj prvi par elektrodnih plošč in drugi par elektrodnih plošč, prvi par elektrodnih plošč za pogon A signal se uporablja za pogon dokazne mase, da niha med prvim parom elektrodnih plošč, drugi par elektrodnih plošč pa se uporablja za merjenje sprememb v kapacitivnosti zaradi sprememb v položaju dokazne mase.

Kontaktiraj nas:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894