Elementi tehnične izvedbe senzorskega čipa za kostno prevodnost.

Elementi tehnične izvedbe:

3. Glede na to je namen izvedbe pričujoče tehnologije zagotoviti senzorski čip za kostno prevodnost za rešitev problema nestabilne občutljivosti senzorskega čipa za kostno prevodnost v stanju tehnike.

4. Sedanja tehnologija zagotavlja senzorski čip za kostno prevodnost, ki obsega: vibrirajočo membrano; masni blok, ki se nahaja na eni strani vibrirajoče membrane; in zaustavitveno strukturo za omejevanje amplitude vibracij masnega bloka v smeri, ki je vzporedna z vibrirajočo membrano. Zaustavna struktura se uporablja za omejevanje amplitude vodoravnih vibracij masnega bloka, s čimer se zmanjša stopnja motenj vodoravnih vibracij na navpične vibracije, kar zagotavlja, da so navpične vibracije masnega bloka bolj stabilne, in dodatno izboljša občutljivost enakomernost čipa.

5. V eni izvedbi zamaška struktura obsega koplanarno prvo zamaško plast in drugo zamaško plast, prva zamaška se nahaja med gibljivim območjem in maso, druga zamaška in fiksno območje pa sta naložena; obstaja prva vrzel med prvim omejevalnim slojem in drugim omejevalnim slojem.

6. V eni izvedbi sta materiala prve in druge zamaške plasti polisilicij.

7. V eni izvedbi je vključen tudi žrtveni sloj in žrtveni sloj vključuje osrednje območje, razporejeno v intervalih, in robno območje, ki obdaja osrednje območje; osrednje območje se nahaja med premičnim območjem in prvim zapornim slojem, robno območje pa se nahaja med fiksnim območjem in robnim območjem. Med drugim zapornim slojem; osrednje območje in robno območje imata drugi interval, drugi interval je večji od prvega intervala in komunicira s prvim intervalom.

8. V eni izvedbi vključuje tudi podporno strukturo; nosilna struktura vključuje prvo votlino in prva votlina vključuje odprtino; masni blok se nahaja v prvi votlini, gibljivo območje vibrirajoče membrane pokriva odprtino, fiksno območje pa je povezano s podporo. Strukturna povezava.

9. V eni izvedbi je razmerje med prvim razmikom in dolžino prve votline večje od nič in manjše ali enako 1/10 v odseku, ki poteka skozi središčnico dokazne mase.

10. V eni izvedbi omejevalna struktura vključuje prvo votlino, masni blok se nahaja v prvi votlini, stranska stena masnega bloka in stena prve votline pa sta razmaknjeni.

11. V eni izvedbi je razmerje najmanjšega intervala med stransko steno mase in steno prve votline proti dolžini prve votline večje od nič in manjše ali enako 1/10.

12. V eni izvedbi dokazna masa vključuje del telesa in vsaj eno štrlino na stranski steni dela telesa.

13. V eni izvedbi dokazna masa vključuje drugo votlino.

14. V eni izvedbi prva votlina vključuje odprtino; diafragma vključuje premično območje in robno območje, ki obdaja premično območje; premično območje pokriva odprtino, fiksno območje pa je povezano z omejevalno strukturo.

15. V eni izvedbi vključuje tudi spodnjo ploščo na strani masnega bloka stran od vibrirajoče membrane; konstrukcija zamaška vključuje vsaj eno štrlino, razporejeno na površini spodnje plošče blizu masnega bloka, in konec vsake štrline je površina prehaja skozi maso; v smeri, ki je vzporedna z diafragmo, je prostor med stransko steno vsake štrline in stransko steno mase.

16. V eni izvedbi dvignjeni material vključuje karkoli od silicija, silicijevega oksida in lepila.

Kontaktiraj nas:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894